Mikrosystemtechnik für Ingenieure

Die völlig neubearbeitete Auflage des ersten umfassenden Lehrbuchs der Mikrosystemtechnik berücksichtigt die neuesten Trends dieses sich rasch entwickelnden Gebietes der Ingenieurwissenschaften. Insbesondere die Kapitel zur Silizium- und LIGA-Technik wurden stark erweitert. Neu hinzugekommen sind anwendungsbezogene Aspekte in der Medizintechnik, Galvanik und Lithographie.

Das Buch spricht überwiegend fortgeschrittene Studenten der Ingenieurwissenschaften an, die einen fundierten Einstieg in dieses aktuelle Forschungsthema suchen. Auch gestandene Fachleute können sich hier einen guten Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik verschaffen.

Klappentext:

Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiftenLehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in dieseminterdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere dieKapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologienwurden stark erweitert. Außerdem sind neue Anwendungsaspektehinzugekommen. Somit schlägt dieses Lehrbuch weiterhin ineinzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen derMikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einerVielzahl von High-Tech Entwicklungen.

Inhaltsverzeichnis:

ALLGEMEINE EINFÜHRUNG IN DIE MIKROSTRUKTURTECHNIKWas ist Mikrostrukturtechnik?Von der Mikrostrukturtechnik zur MikrosystemtechnikDIE PARALLELEN ZUR MIKROELEKTRONIKFertigungskonzepte der MikroelektronikAufbau- und VerbindungstechnikReinraumtechnikDIE NATURWISSENSCHAFTLICHEN GRUNDLAGEN DER MIKROTECHNIKEin Ausflug in die QuantenmechanikKristalle und KristallographieMaterialien der MikrotechnikGrundbegriffe der Elektrochemie und der galvanischen AbscheidungBASISTECHNOLOGIEN DER MIKROTECHNIKGrundlagen der VakuumtechnikErzeugung von DünnschichtenAbtragen und Strukturieren von DünnschichtenOberflächenanalyseLITHOGRAPHIEÜberblick und HistorieResistsStrukturübertragungMaskenfertigungStrahlungsquellenDIE SILIZIUM-MIKROMECHANIKMikromechanische GrundstrukturenDie Oberflächen-MikrotechnikAnwendungsbeispieleDAS LIGA-VERFAHRENÜberblickMaskenherstellungRöntgentiefenlithographieGalvanikAbformungVarianten der LIGA-TechnikAnwendungsbeispieleALTERNATIVE VERFAHREN DER MIKROSTRUKTURIERUNGMechanische Mi krofertigungLaser-AblationIonenverfahrenAUFBAU- UND VERBINDUNGSTECHNIKEN (AVT)HybridtechnikenKontaktierungstechnikenKlebetechnikAnodisches BondenGehäusungSYSTEMTECHNIKDefinition eines MikrosystemsEntwurf, Simulation und Test von MikrosystemenSignalverarbeitung für Sensoren in MikrosystemenIndustrielle Konzepte der MikrosystemfertigungANWENDUNGENAllgemeine Meß- und RegeltechnikOptische KommunikationMedizintechnikAusblick

Rezension:

"Die völlig neu bearbeitete Auflage des ersten umfassenden Lehrbuchs der Mikrosystemtechnik berücksichtigt die Trends dieses Gebietes der Ingenieurwissenschaften. Vor allem die Kapitel zur Silizium- und LIGA-Technik wurden stark erweitert... Das Buch spricht überwiegend fortgeschrittene Studenten der Ingenieurwissenschaften an, die einen fundierten Einstieg in das aktuelle Forschungsthema suchen. Auch gestandene Fachleute können sich hier einen guten Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik verschaffen."Wirtschaft Region Fulda IHK"Das Buch ist insgesamt ein gelungener Versuch, die Grundlagen der Mikrosystemtechnik in einem Lehrwerk darzustellen."CIT